دستگاه فلورسانس اشعه ایکس یا XRF از تجهیزات تجزیه ای آزمایشگاهی است و برای تعیین کمی و کیفی عناصر موجود در نمونه مورد آنالیز، مورد استفاده قرار می گیرد. با دستگاه XRF می توان با سرعت و حساسیت بالا، نوع و مقدار عناصر مختلف آنالیت، از سدیم تا اورانیم را به خوبی شناسایی کرد. عملکرد دستگاه XRF، بر پایه تابش X-ray و آنالیز رفتار اتم های عنصر در بازتابش آن می باشد. این آنالیز بر اساس اندازه گیری پراش طول موج اشعه ایکس (WDXRF) و یا پراش انرژی اشعه ایکس (EDXRF) انجام می گیرد. دستگاه اسپکترومتر X-Ray Fluorescence بدون تخریب نمونه در زمینه های مختلف صنعتی کاربردهای فراوانی دارد. این دستگاه مجهز به سیستم EDX جهت آنالیز عنصری و ترکیبات اکسیدی می باشد.